Títan markefni

1. yfirlit
Markefni vísar til efnisins sem sprengd er af mikilli orku agnum meðan á ferlum stendur eins og útfellingu. Hægt er að flokka markmið í málm-, ál- eða oxíðtegundir. Með því að breyta markefninu (td ál, kopar, ryðfríu stáli, títan, nikkel), er hægt að framleiða mismunandi þunnt filmukerfi, svo sem öfgafullt hörku, slitþolið eða tæringarþolið málmblöndu.

(1) Málmmarkmið:
Nikkel (Ni), títan (Ti), sink (zn), króm (Cr), magnesíum (mg), niobium (nb), tin (Sn), ál (Al), indíum (í), járn (Fe), zirconium-aluminum (zral), alumín-alumín (tial), zirconium (zr), alumín-aluminum (tial), zirconium (Zral) (ALSI), Silicon (Si), kopar (Cu), Tantal (Ta), Germanium (Ge), Silver (Ag), Cobalt (CO), Gold (Au), Gadolinium (GD), Lanthanum (LA), Yttrium (Y), Cerium (CE), Tunsten (W), Ryðfrítt stál, Nickel-Chrome-Chrome-Chrome, Nicr), W), Ryðfrítt stál, Nickel-Chrome-Chrom Hafnium (HF), mólýbden (MO), járn-nikkel (feni), etc.

(2) Keramikmarkmið:
ITO, magnesíumoxíð, járnoxíð, kísilnítríð, kísil karbíð, títannítríð, krómoxíð, sinkoxíð, sinksúlfíð, kísill díoxíð, kísilmónoxíð, Ceriumoxíð, sirkoníumdíumíð, niobium pentoxíð, títaníum díoxíð, hafnium dioxíð, snixíð Díbóríð, sirkon díbóríð, wolfram tríoxíð, súrál (al₂o₃), tantal pentoxíð, níóbíum pentoxíð, magnesíumflúoríð, yttrium flúoríð, sink seleníð, ál nítriíð, bórnítride, praseodmium titanat Oxíð og annað sputterandi markefni.

2.

(1) Hreinleiki
Hreinleiki er einn mikilvægasti árangursmælikvarðinn þar sem hann hefur bein áhrif á þunna filmueiginleika. Til dæmis, í ör rafeindatækni, hafa þakstærðir vaxið úr 6 "og 8" til 12 ", en línubreiddar hafa minnkað úr 0. µm línur þurfa nú hreinleika 99.999% eða jafnvel 99.9999%.

(2) Óhreinleika innihald
Fastan óhreinindi og frásogaðar lofttegundir eins og súrefni og vatn eru aðal mengun mengunar í þunnum filmum. Sérstakar atvinnugreinar, eins og hálfleiðarar, hafa strangar kröfur um alkalímálma og geislavirka þætti í áli og málmblöndur þess.

(3) Þéttleiki
Mikill þéttleiki hjálpar til við að draga úr porosity í markinu og bæta þannig frammistöðu sputtering kvikmynda. Þéttleiki hefur ekki aðeins áhrif á hraðahraða, heldur einnig rafmagns- og sjón eiginleika kvikmyndanna. Þéttari markmið standast einnig betur hitauppstreymi við sputtering.

(4) Kornastærð og dreifing
Markmið hafa venjulega fjölkristallaða mannvirki. Fínari korn hafa tilhneigingu til að bæta sputterhlutfall en samræmd dreifing kornstærðar tryggir jafnvel filmuþykkt við útfellingu.

3. Efniseinkunn
TA {{0}}, TA1, TA2, TA9, TA10, ZR2, ZR0, GR5, GR2, GR1, TC11, TC6, TC4, TC3, TC2, TC1.

4. Umsóknir
Markefni eru mikið notuð við skreytingar húðun, slitþolnar kvikmyndir og í rafeindatækniiðnaðinum fyrir CD, VCD og seguldisk húðun.

Wolfram-Titanium (W-Ti) kvikmyndir
W-TI og málmblöndur þess eru háhita hagnýtur húðun með óbætanlegum kostum. Wolfram býður upp á háan bræðslumark, styrk og lágan hitauppstreymistuðul. W-Ti kvikmyndir einkennast af litlum rafviðnám, framúrskarandi hitauppstreymi og sterkri oxunarþol.

Hefðbundnir samtengingarmálmar eins og AL, Cu og Ag eru auðveldlega oxaðir, illa tengdir dielectric lögum og tilhneigingu til dreifingar í hvarfefni eins og Si og Sio₂. Þessi hegðun rýrir árangur tækisins. Aftur á móti þjóna W-Ti málmblöndur sem framúrskarandi dreifingarhindranir vegna stöðugra hitameðferðar eiginleika þeirra, lágs rafsegulhraða og yfirburða tæringar og efnafræðilegrar viðnáms sem gera þær tilvalnar fyrir hástraum og háhita umhverfi.

5. Þróunarhorfur
W-Ti markmið hafa nýlega komið fram sem mikilvægar húðunarefni fyrir ljósgeislafrumur, sérstaklega sem dreifingarhindranir í þriðju kynslóðum sólarfrumum. Þökk sé óvenjulegum eignum þeirra hefur eftirspurn eftir W-TI markmiðum aukist á undanförnum árum. Árið 2008 náði alþjóðleg eftirspurn 400 tonn. Þegar sólariðnaðurinn vex er búist við að þessi tala muni aukast verulega.

Alþjóðlega sólarfrumumarkaðurinn stækkar hratt og 100% árlegur vöxtur. Mörg fyrirtæki, þar með talið WverthsurlFulcell í Þýskalandi, Global Solar Energy í Bandaríkjunum, Honda Showa Solar Shell í Japan, og Hitachi Metals eru virkir að fjárfesta í þessum geira.

Kína hefur þróað öfgafullan, háan þéttleika og háhæð W-TI markmið, nýr flokkur af jónaspúra húðunarefnum. Þetta er mikið notað sem hindrun eða litastillandi lög í skjám, skreytingarlögum í fartölvum, umbreyting rafgeymis og ljósdreifingarhindranir. Viðskipta- og efnahagsleg möguleiki þeirra er verulegur. Að auki getur framleiðsla þeirra ýtt undir uppfærslu í wolframiðnaði Kína, aukið vöruverðmæti og alþjóðlega samkeppnishæfni.